EUV、脱气、热量、抽气时间、稳定性与磁场干扰是设计真空系统时需考虑的关键参数。此外，还需考虑其他所有与满足您苛刻环境与性能需求的完美运动解决方案相关的关键参数。

我们的系统专为在部分压力低至 10^-9 mbar 的环境中运行而开发，并整合了从线性马达（包括特殊屏蔽）到压电驱动单元与特殊电缆的组件。

所有相关的机加工零件（铝和/或 SUS）均在内部生产，以确保洁净度与脱气控制得以完美维持。

所有真空平台皆在我们的无尘室中进行组装、测试和包装，特别针对您的生产节奏而设计。