SCHNEEBERGER 为晶圆生产开发定位系统。由于客户要求极为严苛，SCHNEEBERGER 开发了一系列含 CFRP 组件的解决方案。其中一个例子是全新的双龙门系统，其亮点在于轴排列和复合材料的运用。因此，定位速度相比以往系统提升了一倍。
 

CFRP 用于高动态精密轴中

芯片制造在无尘室内透过光刻层结构在硅晶圆上进行。为确保质量，制程中会定期检测关键尺寸（晶圆计量），这些测量的尺寸小于 20 奈米。过程中，透过定位系统将晶圆移至测量仪器下方，而该定位系统的开发与生产则是由系统业务部门负责。
 

CFRP 组件的优势

• 移动质量减少 30%
• 组件的特定刚性提高 2.5 倍
• 系统的第一自振频率提升 40%
• 移动与稳定（M&S）时间减少 30%
• 维持所需的组件公差（如平行度）
• 系统规格能安全遵守（如漂移）