EUV、脫氣、熱量、抽氣時間、穩定性與磁場干擾是設計真空系統時需考量的關鍵參數。此外，還需考慮其他所有與滿足您苛刻環境與性能需求的完美運動解決方案相關的關鍵參數。

我們的系統專為在部分壓力低至 10^-9 mbar 的環境中運行而開發，並整合了從線性馬達（包括特殊屏蔽）到壓電驅動單元與特殊電纜的元件。

所有相關的機加工零件（鋁和/或 SUS）均在內部生產，以確保潔淨度與脫氣控制得以完美維持。

所有真空平台皆在我們的無塵室中進行組裝、測試和包裝，特別針對您的生產節奏而設計。