SCHNEEBERGER 為晶圓生產開發定位系統。由於客戶要求極為嚴苛，SCHNEEBERGER 開發了一系列含 CFRP 元件的解決方案。其中一個例子是全新的雙龍門系統，其亮點在於軸排列和複合材料的運用。因此，定位速度相比以往系統提升了一倍。
 

CFRP 用於高動態精密軸中

晶片製造在無塵室內透過光刻層結構在矽晶圓上進行。為確保品質，製程中會定期檢測關鍵尺寸（晶圓計量），這些測量的尺寸小於 20 奈米。過程中，透過定位系統將晶圓移至測量儀器下方，而該定位系統的開發與生產則是由系統業務部門負責。
 

CFRP 元件的優勢

• 移動質量減少 30%
• 元件的特定剛性提高 2.5 倍
• 系統的第一自振頻率提升 40%
• 移動與穩定（M&S）時間減少 30%
• 維持所需的元件公差（如平行度）
• 系統規格能安全遵守（如漂移）